適用于氣體的Burkert質(zhì)量流量調節器 (MFC)/質(zhì)量流量計 (MFM)
類(lèi)型 8741
采用 MEMS 技術(shù)直接測量流量
測量和重復精度高
反應時(shí)間非常之短
現場(chǎng)總線(xiàn)通信基于 CANopen
Burkert氣體流量控制器 (MFC)/流量測量?jì)x (MFM)
類(lèi)型 8745
標稱(chēng)流量范圍從 20 lN/min 至最高 2500 lN/min
測量精度和重復性高
通過(guò)標準信號或工業(yè)以太網(wǎng)進(jìn)行通信
電磁和電動(dòng)閥門(mén)執行機構可用
通過(guò)配置存儲器便于設備更換