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巴魯夫傳感器解決方案丨在載具傳送中實(shí)現非接觸式精確定位的理想之選

更新時(shí)間:2024-07-12      點(diǎn)擊次數:77


在全球數字化的浪潮中,半導體行業(yè)扮演著(zhù)至關(guān)重要的角色。并且隨著(zhù)5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展,對高性能半導體芯片的需求也在日益增長(cháng)。


在半導體制造過(guò)程中,每一個(gè)環(huán)節都必須達到j(luò )i高的精度和可靠性,以滿(mǎn)足日益嚴苛的行業(yè)標準。載具傳送作為保障晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中安全、高效移動(dòng)的關(guān)鍵步驟,其創(chuàng )新和優(yōu)化對于整個(gè)半導體生產(chǎn)具有重要意義。



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巴魯夫為您提供高效且可靠的

載具傳送解決方案

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精確與高效

無(wú)論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒,巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統能夠全自動(dòng)監測AMHS的移動(dòng),無(wú)論是在短距離的RGV應用還是長(cháng)距離的OHV應用中,都表現出ji高的可靠性。



非接觸式定位

巴魯夫的非接觸式系統提供了精確的定位能力,確保晶圓能夠安全、可靠地傳送至每個(gè)工序,有效避免了擦傷和裂口的問(wèn)題。



可追溯性

系統還具備強大的可追溯性,能夠實(shí)時(shí)記錄載具的位置,確保生產(chǎn)過(guò)程的透明度和追蹤能力。




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接下來(lái)讓我們一起來(lái)看看巴魯夫產(chǎn)品在載具傳送環(huán)節的具體應用:

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檢測載具是否存在

Balluff Micromote®光學(xué)傳感器頭


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如果要檢測裝載埠上是否有載架,巴魯夫的對射型和漫反射型傳感器以其扁平構造巧妙集成于裝載埠,能夠節省空間并進(jìn)行精準檢測,確保機器只在載具??繒r(shí)啟動(dòng),優(yōu)化生產(chǎn)流程。


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產(chǎn)品亮點(diǎn)


1

極為扁平的構造

2

節省空間

3

單獨聚焦





可靠跟蹤載具

BVS視覺(jué)傳感器


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為了能夠跟蹤AMHS系統中的載具,您可以為載具配置二維碼。我們的BVS視覺(jué)傳感器能夠識讀數據矩陣碼、二維碼和條形碼,從而能夠偵測到輸送載具的每一個(gè)動(dòng)作,確保您隨時(shí)掌握輸送載具的動(dòng)態(tài)。

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產(chǎn)品亮點(diǎn)


1

易于集成,操作簡(jiǎn)單直觀(guān)

2

所有數據均集中存儲調用

3

將大量數據與過(guò)程網(wǎng)絡(luò )分離,zuui大程度減少了數據負荷




持續檢測AMHS位置

BML磁柵編碼系統


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采用我們的BML磁編碼位置測量系統,您可以實(shí)現對輸送車(chē)位置的精準監測。這些傳感器可以根據您的特定測量需求進(jìn)行定制配置,具有高度精確性,確保您的載具順暢且準確地傳送至裝載架。

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產(chǎn)品亮點(diǎn)


1

非接觸式測量原理,即無(wú)磨損

2

極其可靠,高度精確

3

用途多樣,磁條最長(cháng)可達48m,可根據需求裁剪




檢測AMHS終端位置

巴魯夫BES電感式傳感器


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我們?yōu)槟O測載具輸送車(chē)的終端位置提供了眾多選擇。根據您的具體需求,我們的電感式、電容式或光電式傳感器能夠確認AMHS位置是否正確,您的載具是否精確定位在裝載架上。


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產(chǎn)品亮點(diǎn)


1

非接觸式,無(wú)磨損

2

技術(shù)多樣性,高效應對各種需求


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左右滑動(dòng)查看更多

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半導體自動(dòng)化手巴魯夫

半導體行業(yè)的發(fā)展過(guò)程中,巴魯夫以其前瞻性的技術(shù)為您的生產(chǎn)提供堅實(shí)支撐。我們致力于提供創(chuàng )新的自動(dòng)化解決方案,通過(guò)集成先進(jìn)的傳感器、監測技術(shù)和智能控制,優(yōu)化您的生產(chǎn)流程,提升產(chǎn)品質(zhì)量并降低成本,助力您應對半導體生產(chǎn)過(guò)程中的各種挑戰。


同時(shí)我們根據您的需求提供定制化的解決方案。無(wú)論是提高生產(chǎn)效率、優(yōu)化資源配置,還是增強生產(chǎn)過(guò)程的透明度和可追溯性,巴魯夫都能為您提供全面的支持。攜手巴魯夫,開(kāi)啟卓、越之旅,立即探索我們的技術(shù),讓創(chuàng )新yin領(lǐng)您的生產(chǎn)。


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聯(lián)系我們

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